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电子特气产品(烷类电子气体)

产品型号:

1-4


产品特点

高纯磷烷 PH3;纯度:5N;技术指标:Ar≤1;N2≤1;H2≤0.5;CH4≤2;CO≤1;CO2≤1;H2O≤1;AsH3≤1
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产品详情


高纯磷烷 PH3

纯度:5N

技术指标:Ar≤1;N2≤1;H2≤0.5;CH4≤2;CO≤1;CO2≤1;H2O≤1;AsH3≤1

高纯硼烷 B2H6

纯度:5N

技术指标:O2+Ar≤1;N2≤3;CH4≤1;;CO≤1;CO2≤1;H2O≤3

高纯砷烷 AsH3

纯度:6N

技术指标:O2+Ar≤0.2;N2≤0.5;CH4≤0.05; CO≤0.05;CO2≤0.05;H2O≤0.1

高纯磷烷  PH3

纯度:5N5

技术指标:Ar≤0.5;N2≤1;CO≤0.5;CO2≤0.5;  THC≤0.2;H2O≤1; AsH3≤0.1

 

电子特气

关键词:气体产品、电子特气

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