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电子特气产品(其他电子气体)

产品型号:

1-3


产品特点

昊华气体(大连基地)多方面提供蚀刻、清洁、离子注入等半导体制程所需要的电子气体,种类将达到20余种......
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产品详情


昊华气体(大连基地)多方面提供蚀刻、清洁、离子注入等半导体制程所需要的电子气体,种类将达到20余种,其中目前重点实施的气体种类包含

产品

纯度

指标(ppm)

Cl2

5N

O2+Ar≤1;N2≤1.5;CO≤1;CO2≤2;THC≤0.1;H2O≤1

BF3

5N

O2+Ar≤1;N2≤2; CF4≤1; SiF4≤5;CO2≤1

H2Se

4N

O2+Ar≤10;N2≤20;CO≤10;CO2≤10;H2≤20;THC≤10;H2O≤10

H2S

4N

O2+Ar≤10;N2≤20;CO≤10;CO2≤10;H2≤20;THC≤10;H2O≤10;H2S≤10

Xe

5N5

O2≤0.1;N2≤1;CO≤0.1;CO2≤0.1;H2≤0.5;THC≤0.1;H2O≤0.5;

Ar≤1;Kr≤2;N2O≤0.5; Fluorinated≤0.1

NO

3N

N2O<300;N2<200;CO2<200;NO2<200; H2O<5

N2O

5N5

O2≤0.5;N2≤3;THC≤0.1;CO≤0.1;CO2≤0.5;H2O≤1.0

 

电子特气

关键词:气体产品、电子特气

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