SF6
产品型号：
SF
产品特点
昊华气体有限公司成立于2020年7月，总部位于洛阳，是中国化工集团有限公司整合黎明院（洛阳）、光明院（大连）、西南院（成都）气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
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产品详情
SF6电子级六氟化硫 5N
应用
电子级六氟化硫主要用作半导体和电子工业中化学气象积淀的清洗剂和等离子蚀刻剂，广泛用于TFT-LCD。半导体和太阳能面板等领域。
产能
1000t/年
产品指标
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项目名称 |
SF610-2 |
CF4 10-6 |
N2 10-6 |
O2+Ar 10-6 |
CO 10-6 |
CO210-6 |
CH4 10-6 |
Acidity10-6 |
HydrolyzableFluoride 10-6 |
H20 10-6 |
|
5N |
≥99.999 |
≤0.5 |
≤2 |
≤2 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.1 |
------ |
≤3 |
|
5.5N |
≥99.9995 |
≤0.1 |
≤2 |
≤1 |
≤0.1 |
≤0.3 |
≤0.1 |
≤0.004 |
≤0.8 |
≤1 |
包装规格
|
钢瓶体积 |
40L/43.3L/47L/48.8L |
440L/470L |
40ft ISO |
|
钢瓶容量 |
50kg |
500kg |
12400kg |
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瓶阀规格 |
CGA590/DISS716 |
DISS716 |
DISS716 |
关键词：气体产品、电子特气