CF4
产品型号：
CF
产品特点
昊华气体有限公司成立于2020年7月，总部位于洛阳，是中国化工集团有限公司整合黎明院（洛阳）、光明院（大连）、西南院（成都）气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
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产品详情
CF4电子级四氟化碳 5N-5N7
应用
CF4又名四氟甲烷、R14，是一种无色、无毒、不燃烧、有轻微醚味的无腐蚀性气体。通常以压缩状态储存，高压运输，其性质十分稳定，是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。同时，在低温制冷、电子器件表面清洗和气象绝缘等方面被广泛应用。
产能
450t/年 （4600吨项目建成后可达1450t/年）
产品指标
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项目名称 |
CF4 10-2 |
N2 10-6 |
O210-6 |
CO 10-6 |
CO210-6 |
SF610-6 |
Acidity10-6 |
Other halocarbons F-C 10-6 |
H20 10-6 |
|
5N |
≥99.999 |
≤4 |
≤1 |
≤0.1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
|
5.8N |
≥99.9998 |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
≤0.4 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.5 |
≤0.5 |
包装规格
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钢瓶体积 |
43L |
47L |
40ft ISO |
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钢瓶容量 |
26kg |
30kg |
12400kg |
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瓶阀规格 |
CGA580 |
CGA320/CGA580 |
DISS716 |
或根据客户要求提供其他规格的包装
关键词：气体产品、电子特气