NF3
产品型号：
NF
产品特点
昊华气体有限公司成立于2020年7月，总部位于洛阳，是中国化工集团有限公司整合黎明院（洛阳）、光明院（大连）、西南院（成都）气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
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产品详情
充装容器 ：47 L cyl, 16 cyl bundle, 440 L, 20 ft ISO, 40 ft ISO
阀门种类 ：满足客户不同需求
NF3电子级三氟化氮 4N-4N5
应用
三氟化氮是在制造半导体，液晶显示器，太阳能电池的化学气象积淀，(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)工艺中，用于清除舱室内壁残留物的气体。
产能
2000t/年（4600吨项目建成后可达5000t/年）
产品指标
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项目名称 |
NF3 10-2 |
CF4 10-6 |
N2 10-6 |
O2+Ar 10-6 |
CO 10-6 |
CO210-6 |
N2O 10-6 |
SF6 10-6 |
HF 10-6 |
H20 10-6 |
|
GB/T 21287-2007 |
≥99.99 |
≤50 |
≤10 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤1 |
≤1 |
|
Q/CHC 001-2020 |
≥99.99 |
≤40 |
≤5 |
≤3 |
≤1 |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
≤1 |
≤1 |
包装规格
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钢瓶体积 |
43L/47L |
440L/470L |
20ft ISO |
40ft ISO |
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钢瓶容量 |
20kg |
200kg |
4000kg |
8000kg |
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瓶阀规格 |
CGA330/DIWW640/JIS22R |
CGA330/DISS640/JIS22R |
DISS640 |
DISS640 |
关键词：气体产品、电子特气