WF6
产品型号：
WF
产品特点
昊华气体有限公司成立于2020年7月，总部位于洛阳，是中国化工集团有限公司整合黎明院（洛阳）、光明院（大连）、西南院（成都）气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
在线咨询
产品详情
WF6 电子级六氟化钨 5N
应用
六氟化钨主要用于电子工业中金属钨化学气象积淀工业（CVD）工艺，由它制成的硅化钨（WSi2）可用作大规模集成电路中的配线材料。此外，六氟化钨还用于制作半导体电极和导电浆糊等。
产能
100t/年 （4600吨项目建成后可达700t/年）
产品指标
|
轻组分杂质技术指标（10-6） 纯度99.999% |
||||||||
|
项目 |
O2 |
N2 |
CO |
CO2 |
CF4 |
SF6 |
SiF4 |
HF |
|
指标 |
≤0.5 |
≤1.0 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤5.0 |
|
金属元素杂质（10-9，质量分数） |
||||||||
|
项目 |
Fe |
K |
Na |
Cr |
Th |
U |
Co |
Pb |
|
指标 |
≤20 |
≤20 |
≤15 |
≤10 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤10 |
≤10 |
|
项目 |
Ca |
Mg |
Ni |
Cu |
Al |
Mn |
Mo |
Zn |
|
指标 |
≤10 |
≤10 |
≤20 |
≤10 |
≤20 |
≤20 |
≤100 |
≤10 |
包装规格
|
钢瓶体积 |
10L |
40L |
|
钢瓶容量 |
15kg |
50kg |
|
瓶阀规格 |
CGA638 |
CGA638 |
或根据客户要求提供其他规格的包装
关键词：气体产品、电子特气